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干式涡旋泵

SH-110

 

Agilent SH-110 是业内领先的干式密封涡旋泵,可以方便地集成到设备制造商 (OEM) 系统中。这种单级泵结构紧凑,抽速可达 110 L/min(频率 60 Hz),极限压力为 50 mtorr (0.07 mbar),是许多终端用户应用的理想选择。

SH-110 泵符合欧盟认证 (CE)、加拿大标准协会认证 (CSA) 和 Semi S2-0200 的要求。

 

 

 

 

 

特性

 

  • 低温运行
  • ¼-马力电机,功耗低
  • 内置排气阀,噪音水平低
  • 活动排气口为空间有限场合提供更大灵活性
  • 高压下抽速高(110 升/分),可快速降压
  • 轻便,带方便搬运的手柄
  • 内置故障保险隔离阀为真空系统提供保护
  • 通用的 100-230 VAC 电源方便在全世界范围内安装

 

 

 

性能指标

 

技术指标

 

峰值抽速 (60 Hz)

110 L/m6.6 m³/h4.0 cfm

峰值抽速 (50 Hz)

90 L/m5.4 m³/h3.3 cfm

极限真空

5.0 × 10-2 torr (6.6 × 10-2 mbar)

最大进气口压力

1 atm (0 psig)

最大出气口压力

1.5 atm (7.5 psig)

进气口连接

NW25 KF 法兰

排气口连接

1⁄4 英寸内螺纹 NPT

排气口连接转接头

提供 NW16 KF 适配器

气镇连接

1⁄8 英寸内螺纹 NPT

工作环境温度

5 40 41 104 °F

储存温度

-20 60 -4 140 °F

电动机额定功率

0.25 马力 (0.19 kW)

电源

1 phase, 50-60 Hz,

100-115/200-230 VAC

电机过热保护

自动

转速

1725 RPM at 60 Hz

1425 RPM at 50 Hz

冷却

风冷

重量

19.5 kg43 磅)

限制

无腐蚀性、无爆炸性、无颗粒气体

漏率(排气口密封)

<1 × 10-7 std-cc/s 氦气

法规认证

符合 CECSA SEMI S2-2000

 

 

 

 

 

抽速图

 

 

 

外形图

 

 

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